hanqiangqiang 311abf6ed3 1添加电气遗漏气动阀配置，添加相关IO、数据绑定，仿真，后台属性 ... 2添加干泵配置修改界面绑定和仿真		2026-07-30 13:30:52 +08:00
..
Aligners	首次上传	2026-06-15 10:56:30 +08:00
Buffers	首次上传	2026-06-15 10:56:30 +08:00
Cassettes	首次上传	2026-06-15 10:56:30 +08:00
Config	1添加电气遗漏气动阀配置，添加相关IO、数据绑定，仿真，后台属性	2026-07-30 13:30:52 +08:00
Devices	首次上传	2026-06-15 10:56:30 +08:00
EFEMs	首次上传	2026-06-15 10:56:30 +08:00
LLs	首次上传	2026-06-15 10:56:30 +08:00
PMs	主界面模块布局修改为碳化硅量产机	2026-07-01 11:25:18 +08:00
Properties	首次上传	2026-06-15 10:56:30 +08:00
TMs	清空TM Device配置	2026-07-02 14:21:20 +08:00
UnLoads	首次上传	2026-06-15 10:56:30 +08:00
SicModules.csproj	首次上传	2026-06-15 10:56:30 +08:00