# Sic Manual-GE 系统更新历史记录 Manual-GE 手动通用版（适用无EFEM设备） ------ ## Version 1.4.11.60225 - Bug修复 - 无 - 功能优化 - 开关蝶阀及当前模式,都设置位置和压力默认值 - 新特性 - - ## Version 1.4.11.60120 - Bug修复 - 无 - 功能优化 - 无 - 新特性 - 添加氨气改造NH3_17 ## Version 1.4.10.60109 - Bug修复 - 修改GEM PMRecipeStart事件前更新Recipe Step信息 - 功能优化 - 无 - 新特性 - - ## Version 1.4.10.60106 - Bug修复 - 无 - 功能优化 - 无 - 新特性 - 添加氨气改造NH3_16 ## Version 1.4.9.51216 - Bug修复 - NH3_13氨气改造,LowDopingVent模式添加V45操作 - 功能优化 - 无 - 新特性 - 无 ## Version 1.4.8.51210 - Bug修复 - 无 - 功能优化 - 无 - 新特性 - 支持PLC温度滤波算法的支持 ## Version 1.4.7.51210 - Bug修复 - 无 - 功能优化 -新增一些SVID - 新特性 - 新增PM腔自定义名称、背景色的功能 - 新增右下角显示机台名称和编号的功能 ## Version 1.4.6.51127 - Bug修复 - 修改NH3_13氨气改造中V51气动阀位置 - 新特性 - 无 ## Version 1.4.5.51120 - Bug修复 - 修改NH3_13氨气改造，Recipe中LowDopingVent、 LowDopingRun对气动阀操作配置 - 新特性 - 无 ## Version 1.4.4.51120 - Bug修复 - 无 - 新特性 - 在NH3_14氨气改造Recipe中新增V47，修改相关流量计算 ## Version 1.4.3.51117 - Bug修复 - 无 - 新特性 - 新增NH3_14氨气改造 - 全部重写氨气改造流量计算器 ## Version 1.4.3.51113 - Bug修复 - 无 - 新特性 - 新增NH3_13氨气改造 ## Version 1.4.2.51103 - Bug修复 - 修正TM Module无法和PLC通讯的问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.4.2.51103 - Bug修复 - 无 - 新特性 - 新增AO-87，用于测试PLC端温度滤波算法 ## Version 1.4.2.51016 - Bug修复 - 无 - 新特性 - 修改TMA模式在Recipe中注册的函数，拆分到逻辑可视化配置中，在TMA模式下新增LowDoping选项 ## Version 1.4.2.51013 - Bug修复 - 修改V34 V100在PM界面不可控问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.4.0.51009 - Bug修复 - 1.修正TMRobot Pick PM时断加热的逻辑 - 新特性 - 1添加V100气动阀IO、Recipe操作和仿真 - 2添加NH3_6模式气路界面，添加气路选择配置 - 3添加MFC21硬件相关配置、添加仿真 ## Version 1.4.0.50928 - Bug修复 - NH3_2和_NH3_3模式修改气路 - 新特性 - 无 ## Version 1.4.0.50925 - Bug修复 - NH3_3模式Recipe中增加PC8控制项 - 新特性 - 三色灯JobDone提示音时长改为10秒 ## Version 1.4.0.50812 - Bug修复 - 删除Editor菜单中Rceipe相关界面 - 向PM穿盘时，代开闸板阀之前先接触DO_PreProcessRunning和DO_ProcessIdleRunning信号，以避免互锁警告。 - 取消DI-61和DI-62报警 - 新特性 - 无 ## Version 1.4.0.50731 - Bug修复 - 修改关闭闸板阀判断压差导致超时的问题 - 新特性 - 无 - ## Version 1.3.2.50728 - Bug修复 - 修改Recipe不能控制MFC30问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.3.2.50715 - Bug修复 - 屏蔽Enable Table中V43部分报警 - 修改DI-6和DI-7触发信息条件 - 添加MFC17 18对应的DI报警Sensor - 修改NH3_7 NH3_8气路Mfc10错误部分 - 添加Recipe默认值 MiddleTempRatio控温，默认100% - 新特性 - 无 ## Version 1.3.2.50710 - Bug修复 - 修改Recipe对比动画，删除TargetName="tt" - 新特性 - 无 ## Version 1.3.2.50707 - Bug修复 - 修改界面相关数据绑定问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.3.2.50704 - Bug修复 - 无 - 新特性 - 添加NH3_11，修改NH3_8相关功能 ## Version 1.3.2.50630 - Bug修复 - 1.TC2计算温度滤波功能取消 - 新特性 - 1.PM内添加温度滤波功能 ## Version 1.3.2.50619 - Bug修复 - 1.无 - 新特性 - 1.添加NH3_9,NH3_10气路及其相关内容 - 2.模拟温度增加阈值配置 ## Version 1.3.2.50617 **2025-6-17** - Bug修复 - 1.无 - 新特性 - 1.添加NH3_7,NH3_8气路及其相关内容 - 2.模拟温度增加阈值配置 ## Version 1.3.2.50528 **2025-5-28** - Bug修复 - 1.流量计算器内容修改 - 新特性 - 无 ## Version 1.3.2.50422 **2025-4-22** - Bug修复 - 1.NH3_2流量计算器内容修改 - 新特性 - 无 ## Version 1.3.2.50421 **2025-4-21** - 新特性 - 1.开放MFC5是否安装参数显示 ## Version 1.3.2.50414 **2025-4-14** - 新特性 - 拆分Recipe到PM界面中，根据PM气路配置自动选择当前气路对应的Recipe模板和 - 移除PSU和SCR低温报警DI监测 - MFC设置值和反馈值误差监测仅在ProcessIdleRunning、PreProcessRunning、ProcessRunning、PostProcessRunning有效时生效 ## Version 1.3.2.50219 **2025-2-19** - 新特性 - 1.增加氨气检测，管道和腔体 - 2.删除2704传的温度DI产生的Warning ## Version 1.3.2.50217 **2025-2-17** - 新特性 - 1.增加工艺时Pyro模式温度监测功能 ## Version 1.3.2.50114 **2025-1-14** - Bug修复 - 1.修复processview界面recipe的heatmode属性与实际不同步的问题 - 新特性 - 1.和PLC断联后，根据PLC状态提示PLC正在AbortProcess，添加对应操作 - 2.添加配置项，软件正常ShutDown时，是否发送DO信号 ## Version 1.3.2.41225 **2024-11-25** - Bug修复 - 1.修改对比不高亮显示 - 2.取消Process界面右侧表格，显示Recipe名称 - 3.修改界面气路图气体名称显示 - 4.IoLineHeater温度监控时，超温后再次降温自动复位上升沿信号 ## Version 1.3.1.41218 **2024-11-22** - Bug修复 - 1.pmprocess界面翻译异常问题 - 新特性 -1.优化PMprocess界面，可将变更实时推送至正在工艺中的recipe - 2.推送完成会保留变更，直至下一次工艺开始 - ## Version 1.3.1.41122 **2024-11-22** - Bug修复 - 1.记录coating数据时根据TrayInnerID绑定数据库coating数据 - 新特性 -1.添加仿真温度 -2.修改开腔逻辑问题 ## Version 1.3.1.41008 **2024-10-08** - Bug修复 - - 新特性 - 氮分三路改造氮气，修改气路图添加PC8 ## Version 1.3.1.41008 **2024-10-08** - Bug修复 -1.PM开腔时关闭V75后延时2s再打开V76阀 - 新特性 - 无 ## Version 1.3.1.40925 **2024-09-25** - Bug修复 -1. 取消PMProcess界面Update和Save按钮 - 新特性 - 无 - ## Version 1.3.1.40924 **2024-09-24** - Bug修复 -1. 修正Reset和BuzzerOff不起作用的问题。 - 新特性 - 无 ======= ## Version 1.3.1.40919 **2024-09-19** - Bug修复 - VAC ldle &Pump down Routine添加流程，关闭V87、V97 - 新特性 - ## Version 1.3.1.40913 **2024-09-13** - Bug修复 -1.修复蜂鸣器问题 -2.修复界面显示问题 -3.修复汉化问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.3.1.40910 **2024-09-10** - Bug修复 - 修改PM主界面碳源名称，NH2、NH3 - 新特性 - 氨气改造修改Routine添加Mfc17、Mfc18相关逻辑 ## Version 1.3.1.40904 **2024-09-04** - Bug修复 -修正Gem通讯回复慢的问题 - 新特性 ## Version 1.3.1.40822 **2024-08-22** - Bug修复 -修改MFC17未替换M1问题 - 新特性 - 每次加载Editor和Process界面，当参数发生变化是，重新更新Recipe流量计算器 ## Version 1.3.1.40720 **2024-08-21** - 新特性 -1.Gem远程指令CreateJob和Start增加LoadLockIsOnline判断 -2.Gem通讯增加PM1和PM2的MFC SetPoint值反馈 ## Version 1.3.1.40719 **2024-08-13** - Bug修复 -Gem远程指令CreateJob和Start增加SystemIsOnline判断 - ## Version 1.3.1.40718 **2024-07-25** - Bug修复 -解决Gem事件中传SequenceID和Recipe名称路径不对问题 - 新特性 ## Version 1.3.1.40717 **2024-07-24** - Bug修复 - 新特性 - 1.更新SECS/GEM通讯内容 - ## Version 1.3.1.40716 **2024-07-23** - Bug修复 - 新特性 - 1.更新SECS/GEM通讯内容 ## Version 1.3.1.40715 **2024-07-15** - Bug修复 - 优化工艺过程中温度变化速率过快的检测逻辑，计算间隔更改为1s - 新特性 - **2024-07-13** - Bug修复 - 1.修改膜厚历史数据查询，传入日期格式 - 新特性 - ## Version 1.3.2.40712 **2024-07-12** - Bug修复 - 优化工艺过程中温度变化速率过快的检测逻辑，计算间隔更改为1s - 修正系统配置界面右侧列表的宽度可能太宽，导致无法显示完整的问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.3.1.40518 **2024-07-06** - Bug修复 - 1.修改膜厚历史数据查询，传入日期格式 - 2.修改IoTC中增加工艺过程中升温过快报警功能 - 新特性 - ## Version 1.3.1.40517 **2024-05-15** - Bug修复 - - 新特性 - 1.修改TCS补液逻辑，取消延时2秒补液 ## Version 1.3.1.40516 **2024-05-16** - Bug修复 - 修正CreateJob报错但系统仍进入AutoRunning状态Abort Disable导致无法Abort的问题 - 新特性 - ## Version 1.3.1.40515 **2024-05-15** - Bug修复 - 修正PostProcess结束后DO-PostProcessRunning未设置false的问题 - 新特性 ## Version 1.3.1.40514 **2024-05-13** - Bug修复 - - 新特性 - 1.将配置文件名称中带有()、/等字符还原 - 2.修改TCS补液逻辑，最高液位添加报警 ## Version 1.3.1.40513 **2024-05-09** - Bug修复 - 修复Recipe编辑器中，无法将PSU、SCR模式更改为PryoAuto和PryoFollow的问题 - 新特性 - ecipe编辑器中，PSU、SCR模式名称变更为Auto和Follow ## Version 1.3.1.40428 **2024-05-09** - Bug修复 - - 新特性 - 1.增加SECS/GEM功能 ## Version 1.3.1.40427 **2024-05-07** - Bug修复 - - 新特性 - 1.优化Job相关 ## Version 1.3.1.40426 **2024-05-07** - Bug修复 - 1.修正Interlock有时不起作用的BUG - - 新特性 - 1.在PreProcess、Procss、PostProcess过程中检查对应的DO-PreProcessRunning、DO-ProcessRunning、DO-PostProcessRunning信号， - 若为false则PM宕机 ## Version 1.3.1.40425 - Bug修复 - 无 - 新特性 - TC控温模式名称变更为Power、Follow、Auto - TC增加OP Limit限制设置，允许调整Pyro模式下PID整定输出幅度限制 - TCS补液时检测DO_AV_H，为False时报警提示 ## Version 1.3.1.40424 - Bug修复 -修正PM Clean和Purge流程问题 - 修正Interlock有时存在不起作用的问题 - 新特性 - 增加PM在PreProcess,Process,PostProcess状态下不能降隔热罩的功能 - 新增TCS补液信号，补液时间或者补液DI信号任意满足停止补液 ## Version 1.3.1.40417 - Bug修复 - - 新特性 - PM ProcessAbort增加将PSU和SCR设置为Power模式 - ## Version 1.3.1.40326 - Bug修复 - - 新特性 - 重新整理WaferTrayInfo和WaferManager - 修改PM Routine有关超时时间和压力到达条件判断 ## Version 1.3.1.40325 - Bug修复 - 修正RT启动时，PM DO-0互锁可能错误触发并产生警告的问题 - 修正Module状态指示器边框没有对齐的问题 - 新特性 - V43、V48手动打开时，检查当前载气是否为H2 ## Version 1.3.1.40316 - Bug修复 - - 新特性 - 1.RecipeEditorView和RecipeSelectView优化过滤功能 ## Version 1.3.1.40315 - Bug修复 - Process单步历史记录，非数据类型不进行处理 - 新特性 - 根据现场需求更新Process单步历史记录查询数据 ## Version 1.3.1.40314 - Bug修复 - 修正PM进入ProcessIdle、PostProcess和PostTransfer状态时，PSU和SCR加热模式可能设置错误的问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.3.0.40313 - Bug修复 - 侧壁加热切回到Pyro前，检测上一步是不是Pyro，不是Pyro，对L3进行温度赋值 - 新特性 ## Version 1.3.0.40304 - Bug修复 - 修正PyroFollow模式下PSU1和PSU3没有跟随PSU2的问题。 - 新特性 - 无 ## Version 1.3.0.40229 - Bug修复 - 修复配置Maintain不生效的问题 - 新特性 - 触发部分按钮时，会触发MultiProcess提示，确认后继续进行动作 - MultiProcess暂时不限制Process数量（测试断线） - 通讯周期修改为5s - ## 1.3.0.40226 - Bug修复 - 修正TM、PM IO列表加载慢的问题 - 修正Operation Log的Filter全不选时查询，所有按钮变灰的问题 - 修正设备后台扫描函数Monitor()调度过于频繁的问题，限制到100Hz - 新特性 - 新增当RT启动时，阻止系统自动休眠和关闭显示器的功能 - 新增数据库所在磁盘空间监测功能，剩余空间不足时报警 - 改进Data Trace工具，可捕获DO和AO的跳变 - 汉化功能 - 电子维护功能 - 版本号最后一位修改，例如40226，表示含义此版本生成于24年02月26日 ## Version 1.2.10.75 **2024-02-22** - Bug修复 - 1.修复 数据库文件循环清理功能 - - 新特性 - 1.PM新增DI-73,AI-26,AI-27点位 - 2.添加加热带温度监控，可配置报警等级 ## Version 1.2.10.74 **2024-02-01** - Bug修复 - 1.添加TM DO09、DO13、DO15与DI-31的互锁 - - 新特性 - 1.PM Interlock配置中移除DI-33 ## Version 1.2.10.73 **2023-12-28** - Bug修复 - 修正工艺结束后，蜂鸣器提示无法自动关闭的问题 - 修正加载Interlock配置文件时，引发集合枚举时发生变化的异常的问题 - 新特性 - 隐藏SystemConfig中VaccumPressureBase参数 - 手动Purge各个模块不能修改SystemConfig相关参数值 - TV阀右击时新增Reset功能 ## Version 1.2.9.72 **2023-12-22** - Bug修复 - 蝶阀StopRame改成将计时器停止 - 新特性 - 无 ## Version 1.2.9.71 **2023-12-14** - Bug修复 - InterlockManager中Monitor扫描忽略翻转时，键值对集合中不包含对象时，continue当前循环 - 新特性 - 添加ProcessHistory历史记录查询 - 重新整理测温部分 ## Version 1.2.9.70 **2023-12-14** - Bug修复 - 修复Recipe保存问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.2.8.69 **2023-12-08** - Bug修复 - 修正删除和另存为Recipe时，弹出空对话框的问题 - 修正新建Recipe时，默认保存上个打开的Recipe的内容的问题 - 修正Sequence编辑器中的Recipe文件名中没有显示其所在文件夹名称的问题 - 新特性 - 新增配置默认值，根据手动设备现场情况来设定，MFC5不安装、C2H4显示， ## Version 1.2.8.68 **2023-11-27** - Bug修复 - 修正DataLog查询日志时，时间排序可能错乱的问题 - 新特性 - PM新增DO-128 Interlock - 添加Recipe快照压缩保存+历史数据选择对比 - 添加BypassEnableTable实时生效 - 添加PM右键时菜单 ## Version 1.2.7.67 **2023-11-07** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 强制Recipe不保存到数据库 - 修改PMHeaterView界面标签名称 - 修改Purge中Vent超时时间，使用统一时间 - 添加Recipe对比功能 ## Version 1.2.7.66 **2023-11-03** - Bug修复 - 无 - 新特性 - PM视图增加伴热带温度显示页面 - 启动工艺时检查伴热带开启状态，如果未开启，禁止启动工艺 - PM气路图增加PM名称显示 ## Version 1.2.6.65 **2023-11-03** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 气柜加热带温度监控，使用单通道参数设置，在SC配置中PM.PM1.GasBoxTemp PM.PM2.GasBoxTemp ## Version 1.2.6.64 **2023-11-02** - Bug修复 - 1.解决检测MFC流量报警时机偶尔不准确问题 - 新特性 - ## Version 1.2.6.63 **2023-10-31** - Bug修复 - 1.解决MFC ROR测试重做上次MFC ROR流程的问题 -2.修改ROR M11配置文件的错误 -3.修改Clean流程 - 新特性 - 1.ROR时间间隔和基础压力可统一设置 ## Version 1.2.6.62 **2023-10-18** - Bug修复 - 未Install的PM腔不进行online offline操作 - 修改TM Purge和Vent逻辑，在Vent最终压力的过程中检测是否开启快充流量 - 新特性 - 新增config配置对比功能，当配置被修改时，可以在配置界面右上角查看和筛选修改内容，支持回退操作；并且下次开启软件有提示 - ## Version 1.2.5.61 **2023-10-18** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 新增伊顿eaton UPS配置及监控，可在DEVICE界面查看 ## Version 1.2.5.60 **2023-10-18** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 昂坤测温添加参数配置，扫描周期和时间平滑可配置 ## Version 1.2.4.59 **2023-10-18** - Bug修复 - - 新特性 - PM K阀组增加V111控制 ## Version 1.2.4.58 **2023-10-17** - Bug修复 - 修正Recipe编辑视图激活时顶部功能按钮可能被禁用的问题 - 新特性 - 新增允许从系统配置中关闭单会话登录模式的功能 ## Version 1.2.3.57 **2023-10-14** - Bug修复 - 修正Recipe编辑器中选中文件夹后再次选择Recipe文件会提示Recipe发生更改的问题 - 修正Recipe编辑器中切换类型时可能无法正确弹出提示对话框的问题 - 修正Recipe编辑器激活时可能导致程序卡死的问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.2.2.56 **2023-10-13** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 允许将气柜伴热带温度上限设定为0，以屏蔽超温报警 ## Version 1.2.1.55 **2023-10-13** - Bug修复 - 修复曲线数据查询中ChamberPressure与PT1数值不对应的问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.2.1.54 **2023-10-11** - Bug修复 - 无 - 新特性 - TM增加DO_TMCyclePurgeRoutineSuccessed,TM Purge后置为true，TM开腔后该DO置为false， TM Online时需检查该DO为true ## Version 1.2.1.53 **2023-10-10** - Bug修复 - TM purge时 vent延时绑定错误 - vent延时默认值改为10s，与pump延时一致 - 新特性 - ## Version 1.2.1.52 **2023-10-07** - Bug修复 - 修复Interlock项: do-100 和 do-49触发前 di-9 必须为0 - 修复 EFEM SlitValueRoutine 触发时提示文本缺失名称 - 新特性 - 新增 TM的interlock DO-47 48 17 8 10 12 14 16 要求对应腔体压差小于50 - ## Version 1.2.0.51 **2023-10-03** - Bug修复 - 修正Recipe单元格白名单功能不能工作的问题 - 修正Recipe编辑器重新打开后，已打开的Recipe会消失的问题 - 修正PM Process视图的Recipe编辑器中所有参数显示为“-”的问题 - 修正账号编辑视图中无法更改密码的问题 - 新特性 - 新增单会话登录模式，当某用户在其它PC登录时，需要获得已登录PC的授权；当授权通过后，当前登录的PC会自动切换至Read-Only模式，仅能查看，不可能操作 - 角色账号存储文件迁移到新格式 ## Version 1.1.20.50 **2023-09-25** - Bug修复 - 修正Recipe单元格白名单功能不能工作的问题 - 新特性 - 微调TM视图中的按钮位置 - 优化Data History左侧列表中的水温名称 - Interlock Bypass分腔体单独控制 - Interlock表更新 - 新增不同Recipe数据曲线对比功能 - 删除PM DI0和DI7 (DO2、40、41、54、112-119、111的互锁 (为了开腔维护时间可以吹扫) - 修改V75V76和V72TVInterlock ## Version 1.1.19.49 **2023-09-04** - Bug修复 - 1:修改UPS相关现实内容（SC配置提示+DeviceView界面) - - 新特性 - 1:删除PM DI0和DI7 (DO2、40、41、54、112-119、111的互锁 (为了开腔维护时间可以吹扫) ## Version 1.1.18.48 **2023-09-01** - Bug修复 - 解决Mfc Ror测试过程中Mfc未在正确的位置设置Normal状态的BUG - 新特性 - ## Version 1.1.18.47 **2023-08-29** - Bug修复 - 系统配置中新增MFC60相关的配置参数，修正MFC60的Feedback和SetPoint差异超限后没有报警的问题。 - 修改加热带温度上限 - 新特性 - 添加Recipe实时修改功能 ## Version 1.1.18.46 **2023-08-21** - Bug修复 - 修正冷却水超温后没有产生Warning和Alarm信息的问题 - 修正log文件中缺少日志等级信息的问题 - 新特性 - PM2设备配置文件中增加PT9、PT10 Offset和K值设定 ## Version 1.1.17.45 **2023-08-16** - Bug修复 - 修正PMProcess界面中加载Recipe时，取值范围显示不对问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.1.17.44 **2023-08-14** - Bug修复 - 修正PM水温显示的一些问题 - 新特性 - Shutdown按钮增加控制权限，防止人为关闭整个系统 - 优化PM水温配置，水温名称现可通过配置文件调整 ## Version 1.1.16.42 **2023-08-09** - Bug修复 - 解决JobList查询数据错乱问题 - 新特性 - 优化新建Wafer ID名称过长 ## Version 1.1.16.41 **2023-08-03** - Bug修复 - 修正DataLog重新查询数据曲线时，上次设定的Factor和Offset没有生效的问题 - 新特性 - 移除PSU2控制输出幅度限制的功能 ## Version 1.1.15.40 **2023-08-03** - Bug修复 - 修复Recipe StepNo等工艺过程数据没有存储到数据库导致无法查询的问题 - 新特性 - PM Heater增加PSU2输出幅度上限生效温度设定 - PSU2輸出幅度下限跟随温度生效或取消 - Recipe中新增PSU2 Output Limit High参数，用于通过Recipe控制PSU2输出幅度上限（禁用） ## Version 1.1.14.38 **2023-08-02** - Bug修复 - 修正工艺过程数据（气体流量、耗电量）统计数值错误的问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.1.13.37 **2023-08-02** - Bug修复 - 修正Wafer回到LL后，还未完成工艺，即蜂鸣器提示工艺结束的问题 - 修正 PM Operation视图中Heater电阻值显示精度不够的问题，现改为小数点后三位 - 新特性 - PSU2增加控制量输出幅度限制，当温度超过1600度时，控制输出幅度限制到设定值 - PM Process视图的工艺数据统计中新增耗电量统计 ## Version 1.1.12.36 **2023-07-28** - Bug修复 - 解决PM2 PT Offset和K的设定有误问题 - 新特性 - 切换蝶阀位置模式时，压力小于设定值则不能切换 - 蝶阀Disable时，设定对应模式的蝶阀默认值 - PM Routine蝶阀切换位置模式后增加延时 - PM Purge和Clean、LeakCheck Routine 取消循环中蝶阀的位置控到100流程 - 蝶阀控制位置模式启用RampRate - System Config默认值重新整理 - PM Operation视图增加加热器电阻值显示 - PM Process过程增加对加热器电阻值监测，当阻值超过上限后终止工艺 - 优化整理数据库代码 ## Version 1.1.12.35 **2023-07-24** - Bug修复 - 新特性 - 1.重新整理优化数据库代码 ## Version 1.0.12.34 **2023-07-20** - Bug修复 - 1：修正升级软件时新增权限实际值和设置值不一致的问题 - 2：修正Wafer控件中显示的Wafer编号太长时，Wafer会缩小的问题 - 3：TrayBelongTo属性在Buffer中设置后不更新问题，Tray不移动信息不保存问题 - 4：PLC报警问题优化 - 新特性 - 1：添加加热丝断路检测，在Receipe执行过程中检测 - 2：PM Purge开关Final阀增加V111控制 - 3：重写真值表实现方式 - 4：优化Coating界面查询效果，和一键设置PM功能 ## Version 1.0.11.33 **2023-07-05** - Bug修复 - - 新特性 - PM Interlock中DI-6替换为DI-7,DO_ProcessRunning增加DI-6条件 ## Version 1.0.11.32 **2023-07-03** - Bug修复 - 修正ProcessExit时的输出信息等级，由Warning更改为Info - 修正ProcessMonitor窗口打开时，Logout时没有自动关闭该窗口的问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.10.31 **2023-07-03** - Bug修复 - 修正TM和LL的LeakCheckRoutine无法执行的问题 - 修正PM气体流量计算时，修正系数未生效的问题 - 新特性 - 新增工程模式，当互锁被旁路时进入工程模式，PM Online、手动启动工艺和PM退出Serivce模式将被限制 - LL Lid打开时输出信息等级由Warning更改为Info - PM Process结束，磁流体转速将为0后的输出信息等级由Warning更改为Info - 软件信息增加“GE Manual”字串，指示当前版本为通用手动版 ## Version 1.0.9.30 **2023-06-30** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 实用真值表方式计算流量统计 ## Version 1.0.9.29 **2023-06-29** - Bug修复 - 修正Sequence编辑器中无法保存Recipe的问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.8.28 **2023-06-20** - Bug修复 - - 新特性 - 1.软件增加打开或关闭V94和V96阀时先将对应的MFC流量Ramp到0功能 - 2.PM界面DORPressVAC绑定由DI_DORPressATMSW改为DI_DORPressVacSW ## Version 1.0.7.27 **2023-06-19** - Bug修复 - - 新特性 - 系统配置参数增加一键设置传盘压力参数 ## Version 1.0.7.26 **2023-06-14** - Bug修复 - 软件启动时offset可能写入不成功，添加延时写入 - 修改水温报警绑定，界面状态指示灯对应的Sensor名称 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.7.25 **2023-06-14** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 支持指定PM或TM PLC控制三色灯 ## Version 1.0.7.24 **2023-06-14** - Bug修复 - 修正三色灯复位时可能导致程序异常的问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.7.23 **2023-06-14** - Bug修复 - 修正Module卸载后仍然会触发报警的问题 - 修正Alarm和EventLog视图中的表格布局问题 - 新特性 - Recipe编辑器支持拖拽填充功能 ## Version 1.0.6.22 **2023-06-13** - Bug修复 - 1.解决偶尔PM腔加热被Disable的问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.5.21 **2023-06-12** - Bug修复 - 1.解决偶尔PM腔加热被Disable的问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.5.20 **2023-06-12** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 1.将电阻检测的时间改为可配置 -2.将PLC无法访问已释放的对象报错由Alarm改为Info ## Version 1.0.5.19 **2023-06-11** - Bug修复 - 1.Process Abort后将PUS和SCR的加热比例值设为0 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.5.18 **2023-06-11** - Bug修复 - 1.Process Abort后将PUS和SCR的加热比例值设为0 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.5.17 **2023-06-10** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 1.TMRobot与PM取放Tray时取消DI_HeaterTempLowLimitSW点条件限制 ## Version 1.0.5.16 **2023-06-09** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 1.PreProcess时旋转后延时再升隔热罩改到PostTransfer Routine中 -2.修改MOExchange Routine到最新流程 -3.修改Purge流程，结束后M2M9M15-M26由设置到0改为设置到默认值，关闭J阀改为打开J阀 ## Version 1.0.5.15 **2023-06-09** - Bug修复 - 1.增加膜厚时，历史数据同步增加BUG修复(dll) - 2.修复测温未开启，测温对象为null时，Inner温度读取报错问题(dll) - 新特性 - 1.在工艺结束后添加膜厚检测 - 2.添加三点测温参数配置 - 3.修改提示项，增加提示内容(dll) - 4.解决LeakCheck查询结果重复问题 - 5.MFC27量程修改 - 6.增加PM Purge超时时间设置 - 7.设置Recipe Coating权限 ## Version 1.0.5.14 **2023-06-05** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 1.PM磁流体增加设置速度大于0时，自动开启其Enable信号 - 2.PM Purge Routine增加到950mbar的超时时间参数 ## Version 1.0.5.12 **2023-06-03** - Bug修复 - 1:修正PM2蜂鸣器无法关闭问题 - 2:修改IO名称 - 3:修正构造函数中未初始化Module属性导致调用GetConfig失败的问题。 - 4:显示所有IO - 新特性 - 1:修改TM主界面中温度显示 ## Version 1.0.5.11 **2023-06-03** - Bug修复 - 修正Heater无法打开的问题 - 新特性 - 无 ## Version 1.0.5.9 **2023-06-01** - Bug修复 - 1:更新Dll，库中使用的是三个测温点，合并成兼容，只有8号机上有参数调控测温点数量 - 2:解决ATM模式下TMRobot和PM不能传盘问题 - 新特性 - 1:修改PM2报警信息，删除屏蔽的测试内容 ## Version 1.0.5.8 **2023-06-01** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 1:修改动态流量默认值 - 2:修改三色灯配置文件中Blue未定义的警告 - 3:修改界面，TM-Device中UPS绑定的数据源 - 4:修改报警信息 - 5:修改库文件，IoTC支持PyroAuto和PyroFollow模式 - 6:删除气阀和MFC联动功能，TM V60 , PM V96 V94 - 7:自动关Vent阀取消VentMaxPressure要大于AtmPressureBase条件 - 8:Slit Valve开或关，超时时间从5秒更改到10秒 ## Version 1.0.5.7 **2023-05-31** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 1:优化Coating界面,移植Coating数据库表设计 - 2:添加伴热监控点 ## Version 1.0.4.6 **2023-05-30** - Bug修复 - 修正系统Warning时，三色灯的绿灯亮起的问题 - 修正PM M28-M40各个压力下动态流量的默认值 - 修正Tray信息输入窗口的一些错误 - 新特性 - PT1和Interlock配置中改为使用实际压力值（AI_ActualPressure） - Recipe编辑器中隐藏Uid列 ## Version 1.0.3.5 **2023-05-29** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 1:优化PM Purge和Clean Routine,循坏中伺服压力改为关闭EPV2等待压力到达设定值即可 ## Version 1.0.3.4 **2023-05-26** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 1：设置PM相关MFC动态流量默认值 - 2: 更改日志格式，强制为utf-8编码 - 3：TM取放Tray温度参数合并 - 4：添加Coating功能 - 5：重写水温报警 - 6：隔热罩Interlock正价当前位置和Down位置比较 - 7：优化蜂鸣器重响逻辑 - 8：添加合并库 ## Version 1.0.2.3 **2023-04-25** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 1.AutoRun流程按Sequence设置运行，未选择Buffer不在自动去Buffer层避让 - 2.若Sequence进PM前未选择Buffer,则TMRobot在Load取Wafer前根据系统配置 参数判断PM是否开启或关闭PSU和SCR Enable; 3.若Sequence进PM前选择Buffer,则TMRobot在Buffer取Wafer前根据系统配置 参数判断PM是否开启或关闭PSU和SCR Enable; 4.取消Sequence编辑界面中Buffer1,2,3层的选择显示 ## Version 1.0.1.2 **2023-04-13** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 1：TM添加水管 - 2：优化AE报警提示 - 3: 更改IO名称，更改水温名称 - 4：不显示多余参数 - 5：添加水温Offset功能 ## Version 1.0.1.1 **2023-04-13** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 1：从5号机更新到10号机 - 2：添加昂坤测温，PM1和PM2分别使用双通道Middle Outer - 3: 更改参数最大值范围