text/microsoft-resx 1.3 System.Resources.ResXResourceReader, System.Windows.Forms, Version=2.0.3500.0, Culture=neutral, PublicKeyToken=b77a5c561934e089 System.Resources.ResXResourceWriter, System.Windows.Forms, Version=2.0.3500.0, Culture=neutral, PublicKeyToken=b77a5c561934e089 张开 张开 夹紧 夹紧 开真空 开真空 关真空 关真空 自动寻边 自动寻边 抬起 抬起 下降 下降 闸板阀 抬升机构 晶圆爪盘 托盘爪盘 动作 模组 工位 操作 晶圆盒 托盘盒 张开 夹紧 寻边器 测量中心 寻边 寻边 读取真空 读取真空 错误信息 错误信息 清除报警 清除报警 真空 响应回应